plasma等離子清洗機(jī)其電離的粒子都是哪些：
       存在于我們周圍的物質(zhì)有三種形態(tài)：固態(tài)、液態(tài)及氣態(tài)，等離子體通常被稱為物質(zhì)的第四態(tài)。普通氣體由電中性的分子或原子組成，電離氣體是電子、離子、原子、分子或自由基粒子組成的集合體，其中的正電荷和負(fù)電荷總數(shù)在數(shù)值上總是相等的。
基于此種等離子體構(gòu)成，電離氣體表現(xiàn)出以下2種性質(zhì)：
1、電離氣體是一種導(dǎo)電流體，而又能在與氣體體積相比擬的宏觀尺度內(nèi)維持電中性；
2、電離氣體帶電粒子之間存在庫侖力，由此導(dǎo)致帶電粒子群的種種整體運動行為會受到磁場的影響和支配

        產(chǎn)生等離子體的方式很多，自然方法存在于宇宙天體間及上層大氣，人工方法- -般為放電方式、放射線方式、真空紫外光、激光、燃燒、沖擊波、場致電離等。
        放電方式又包括直流放電、低頻放電高頻放電、微波及感應(yīng)方式等。我們在設(shè)備上應(yīng)用最多的是利用13.56MHz高頻電源產(chǎn)生輝光放電，在不同的反應(yīng)室條件中，實現(xiàn)各種的不同的反應(yīng)機(jī)理，從而產(chǎn)生不同的工藝效果。plasma等離子清洗機(jī)技術(shù)最重要的優(yōu)勢在于它的多功能性，plasma等離子清洗機(jī)可用于多種材料的表面活化、清洗、刻蝕和沉積。